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矽晶圆




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下图为相同尺寸和同一转子的两相PM型与三相PM型步进电机的速度—转矩特性。其速度—振动特性如下图所示。转矩特性方面，三相PM型步进电机在高速旋转时转矩较高；振动特性中三相PM型在步进电机低速下比较小；相应的噪音特性与两相PM型电机相比有更大改善。总之，三相PM型步进电机虽然结构比两相PM型步进电机复杂，但性价比更好。下表为试验电机参数，即相同尺寸的两相HB型与三相PM型步进电机的参数。下图为两种电机的速度—转矩特性及其速度-噪音特性：速度—转矩特性两者相差不多，三相PM型电机的噪音特性约低10dB。
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