晶圆片测试chipwafer采购

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上式可有下表表示：即上式的项为步距角理论值，(θm-θm-1)=θs。*二项为静止角度（位置）误差的相邻误差，变成步距角误差。步距角误差取（+）或（-）值，（+）或（-）的值与步距角之比的百分数（％）称为步距角精度。（表1）的步距角精度SA用下式描述：滞环误差：转子由任意点正转1圈后，再反向旋转一圈返回原点，各测量位置的偏差角中取值，称为滞环误差。上“误差的表示与位置精度图”中的H即为滞环误差。
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