存储晶圆玻璃IC大量处理

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玻璃IC




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亦即，步进电机的驱动脉冲波连续自动扫频，每次记录频率分析的结果用三维表示。Y(倾斜）轴表示步进电机脉冲频率，X(横）轴表示振动频率，Z(纵）轴表示振动加速度。由此可以看出，何处的驱动脉冲，频率多少时，会产生的振动大小，一目了然，易于分析振动结果。根上振动分析图，从振动大的地方看到，驱动脉冲的基波频率造成振动成分，且出现的振动点为其偶次谐波，180pps附近的振动为振动加速度与转子及其负载系统的自然频率的共振。
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