晶圆片测试IC晶圆转让IC晶圆
IC晶圆
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:通过使用sin/cos增量信号,西门子伺服电机编码器可以将分辨率提高到高达24位(分辨率16777216),转换后编码器可以描述的单位为0.07角秒,但是其物理精度仅仅可以达到±40角秒,分辨率能提供的精度远大于编码器的实际物理精度。但是对于使用HTL或者TTL类型的西门子伺服电机编码器来说,分辨率只能提高4倍。如1024SR或者2048SR类型编码器,可提供的分辨率为4096或者8192,转换后编码器可以描述的单位为5.27角分或者2.63角分,但是其物理精度可以提供达到±1角分,分辨率提供的精度小于编码器的实际物理精度。
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